НАНОСИСТЕМЫ

РЕЗОНАНСНЫЕ ЯВЛЕНИЯ ПРИ МАГНЕТРОННОМ НАПЫЛЕНИИ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ НАНОПЛЕНОК В ЛОКАЛЬНОМ ПОЛЕ НА ПОДЛОЖКЕ
¹Грачёв В. И., ²Марголин В. И., ²Тупик В. А.

¹Научно-производственная компания "АВЕРС", www.aversnpk.ru
101000 Москва, Российская Федерация
²Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ", www.eltech.ru
197376 Санкт-Петербург, Российская Федерация

Поступила в редакцию 10.04.2014

Представлена действительным членом РАЕН С.П. Губиным
Приведены результаты экспериментальных исследований по ионному магнетронному напылению металлических пленок в электромагнитном поле, сгенерированным криволинейной дифракционной решеткой, которая расположена под подложкой в фиксированном контакте. Полученные пленки исследованы методами оптической и электронной микроскопии. Обнаружена многослойная структура пленок со слоями порядка нескольких нанометров. Каждый слой имеет мелкозернистую структуру, упорядоченную по алгоритму интерференционного поля дифракционной решетки. Рентгенофазовый анализ и атомно-силовая микроскопия полученных пленок выявили куполообразность зерен различного иерархического уровня. Структура каждого последующего слоя оказалась уменьшенным подобием слоя предыдущего. В предположении фрактальности синтезируемых пленок просчитаны их фрактальные размерности. Выявлен эффект репликации пленок: напыление структурированной пленки при замене дифракционной решетки только что напыленной пленкой. Обсуждаются возможные резонансные явления при напылении пленок в предлагаемых условиях.

Ключевые слова: магнетронное распыление, дифракционная решетка, металлические пленки, микроскопия, фракталы, резонанс.

УДК 538.95.678.5-419

Библиография – 19 ссылок

РЭНСИТ, 2014, 6(1):18-29

ЛИТЕРАТУРА

Жабрев ВА, Калинников ВТ, Марголин ВИ, Николаев АИ, Тупик ВА. Физико-химические процессы синтеза наноразмерных объектов. СПб., Элмор, 2012, 328 с.
Серов ИН, Марголин ВИ. Способ получения тонких пленок с фрактальной структурой. Патент № 2212375. Приоритет от 04.11.2002.
Zhabrev VA, Margolin VI. Some Questions in Fractal Nanotechnology. Inorganic Materials, 2008, 44(13):65-82.
Жабрев ВА, Лукьянов ТН, Марголин ВИ, Серов ИН, Тупик ВА. Экспериментальное исследование фрактальных структур Си и Ti, полученных методом магнетронного ионного распыления. Нанотехника, 2005, 3:60-77.
Марголин ВП, Тупик ВА. Роль слабых и сверхслабых воздействий в нанотехнологии. Известия СПб гос. технологич. инст., 2012, 16(42):90-96.
Марголин ВП, Тупик ВА, Фантиков BC, Аммон ЛЮ, Бабичев ДВ. Влияние воздействий слабых электромагнитных полей на процессы нанотехнологии. Радиотехника, 2012, 7:127-131.
Грачев ВИ, Марголин ВИ, Жабрев ВА, Тупик ВА. Основы синтеза наноразмерных частиц и пленок. Ижевск, Удмуртия, 2014, 480 с.
Смирнов БМ. Физика фрактальных кластеров. М., Наука, 1991, 136 с.
Смирнов БМ. Кластеры с плотной упаковкой и заполненными оболочками. УФН, 1993, 163(10):30-56.
Зосимов ВВ, Лямшев ЛМ. Фракталы в волновых процессах. УФН, 1995, 165(4):361-401.
Серов ИН, Лукьянов ГН, Марголин ВИ, Солтовская ИА. Динамическая эволюция фрактальной металлической наноповерхности. В сб. ст. «Фракталы и прикладная синергетика». М., Интерконтакт-Наука, 2005, с. 147-148.
Урысон ПС. Труды по топологии и другим областям математики. Т. 2. М.-.Л., 1951.
Анищенко BC, Нейман АБ, Мосс Ф, Шиманский-Гайер Л. Стохастический резонанс как индуцированный шумом эффект увеличения степени порядка. УФН, 1999, 169(1):7-38.
Бецкий ОВ, Лебедева НН, Котровская ТН. Стохастический резонанс в медицине и биологии. Биомедицинские технологии и радиоэлектроника, 2003, 1:3-9.
Бинги ВН, Савин АВ. Физические проблемы действия слабых магнитных полей на биологические системы. УФН, 2003, 173(3):265-300.
Серов ИН, Марголин ВИ, Жабрев ВА, Потсар НА, Солтовская ИА, Тупик ВА, Фантиков BC. Резонансные явления в наноразмерных структурах. Инженерная физика. 2004, 1:18-32.
Карнаухов АВ Диссипативный резонанс и его роль в механизмах действия электромагнитного излучения на биологические и физико-химические системы. Биофизика, 1997, 42(4): 971-979.
Ланда ПС, Заикин АА. Неравновесные индуцированные шумом фазовые переходы в простых системах. ЖЭТФ, 1997, 1:358.
Карнаухов АВ, Пономарев ВО. Диссипативный резонанс - новый класс физических явлений. Некоторые подходы к аналитическому описанию. Биомедицинские технологии и радиоэлектроника, 2001, 8:23-31.

Полнотекстовая электронная версия статьи – на вебсайте http://elibrary.ru