НАНОСИСТЕМЫ

Динамика нагрева металлодиэлектрических структур с нанометровыми проводящими пленками при воздействии СВЧ-полей

Старостенко В.В., Григорьев Е.В., Мазинов А.С., Арсеничев С.П., Таран Е.П., Старосек А.В., Фитаев И.Ш.
Крымский федеральный университет им. В.И. Вернадского, https://cfuv.ru/
Симферополь 295007, Российская Федерация
E-mail: starostenkovv@cfuv.ru, grigoriev@mail.ru, mazinovav@cfuv.ru, arsenichevsp@cfuv.ru, taran.ep@cfuv.ru, starosekav@cfuv.ru, fitaev.i@cfuv.ru

Поступила 19.08.2022, рецензирована 26.08.2022, принята 31.08 2022

Аннотация: В работе приведены результаты экспериментальных исследований динамики нагрева металлодиэлектрических структур (МДС) с алюминиевыми проводящими наноразмерными пленками, осажденными методом магнетронного распыления на бюджетные подложки (стекло, ситалл, лавсан и фторопласт), при воздействии монохроматических сверхвысокочастотных полей (СВЧ) в волноводе. При толщинах пленки менее 2 нм экспериментальные образцы обладали в большей степени свойствами диэлектрика. Заметное взаимодействие пленок с СВЧ, приводящее к тепловым процессам, наблюдалось при толщинах более 2 нм и достигало максимума на 5 нм. Тепловые процессы деградации металлизированного слоя проявлялись различным образом в МДС с твердыми и полимерными (гибкими) подложками. Пробой в проводящих пленках происходил, как правило, при температурах ниже температуры плавления материала пленки и происходил перпендикулярно вектору напряженности электрического поля.

Ключевые слова: металлодиэлектрическая структура, нанометровые проводящие пленки, СВЧ, волновод, тепловое воздействие, пробой

УДК 537.874.7

РЭНСИТ, 2022, 14(3):243-248 DOI: 10.17725/rensit.2022.14.243

Полнотекстовая электронная версия статьи – на вебсайтах http://elibrary.ru и http://rensit.ru/vypuski/article/457/14(3)243-248.pdf