РАДИОЭЛЕКТРОНИКА

Акустические эффекты на волноводных микроструктурах в кремнии

Пупырёв П.Д., Недоспасов И.А., Кузнецова И.Е.

Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, http://www.cplire.ru/
Москва 125009, Российская Федерация
Email: pupyrev@physics.msu.ru, ianedospasov@mail.ru, kuziren@yandex.ru

Поступила 11.11.2024, рецензирована 13.11.2024, принята 15.11.2024, опубликована 20.11.2024.

Аннотация: В анизотропной среде монокристаллического кремния исследованы базовые волноводные структуры на предмет существования локализованных акустических мод. Геометрии структур определены технологическими методами и практикой анизотропного травления, гарантирующей воспроизводимые высококачественные структуры по геометрическим и кристаллографическим параметрам. Моделирование акустических эффектов проводилось полуаналитическим конечно-элементным методом в задачах на собственные значения и об отклике на гармонический силовой источник. Обнаружены кромочно и поверхностно локализованные моды. Спектральный состав локализованых мод был интерпретирован на основе кривых медленностей поверхностных акустических волн. В ряде структур обнаружены псевдомоды, высоколокализованные волны утечки. Полученные результаты позволяют оценить перспективные геометрически конфигурации для дальнейшего подробного исследования полной картины дисперсионных свойств как одиночных волноводов, так и конечного их набора

Ключевые слова: акустический волновод, кремний, анизотропное травление, вытекающие волны

УДК: 534-16, 534.21

РЭНСИТ, 2024, 16(7):837-846 DOI: 10.17725/rensit.2024.16.837

Полнотекстовая электронная версия статьи – на вебсайтах http://elibrary.ru и http://rensit.ru/vypuski/article/615/16(7)837-846.pdf